에프에스티와 EUV장비업체 '이솔'

2020.07.03

에프에스티는 포토마스크용 보호막인 펠리클(Pellicle)과 반도체공정중 주로 Etching 식각공정에서 

Process Chamber 내의 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비인 칠러(Chiller)를 주력으로 

생산하는 반도체 재료/장비 전문업체 입니다.

 

일반적으로 펠리클은 반도체 노광장비, 프로젝션 얼라이너(Projection Aligner)에서는 레티클의 한쪽 크롬(Cr)면에, 스텝퍼(Stepper)에서는 레티클의 크롬면과 유리면 양쪽에 부착되어 웨이퍼 이미지에 영향을 주지 않도록 하는 역할을 합니다.

반도체 소모재료인 펠리클의 경우 지속적인 R&D투자의 결과, 국내업체는 물론 대만, 일본, 미국 등 해외의 유수업체로부터 품질과 가격 면에서 좋은 평가를 받고 있어 1987년 설립 이래 지속적인 매출성장을 시현해 오고 있습니다.

2020년 반기 펠리클부문 매출은 약 318억원로서 전체 매출액의 약 39%를 점하고 있습니다. 

Chiller란 반도체 식각공정에서 과도한 열의 발생에 의해 Chamber 내의 Wafer나 주변온도를 일정하게 유지함으로서 공정효율을 개선하는 장비입니다. 점차 공정이 고정밀화 대구경화 되어 감에 따라 보다 더 사용자화 된 장치의 공급을 목적으로 Chiller의 지속적인 발전이 요구되고 이에 따라 다양한 기초기술 및 설계기술이 기반이 된 제품이 제작되고 있습니다. 

반도체 장비인 칠러의 경우, 국내에서는 비교적 후발주자로서 2000년에 최초로 제품을 출시하였음에도 불구하고

2020년 반기 장비부문 매출액은 455억원으로 전체매출액의 56%를 점하고 있습니다.

에너지 절약의 추세에 발 맞추어 에너지 절약형 칠러(Energy Saving Chiller)의 개발도 완료하여 Memory 및 Logic시장에서에 꾸준한 매출이 기대되고 있으며. 이로 인해, 명실상부한 온도조절장치 MAKER로 자리매김을 하고 있습니다.

 

에프에스티의 연도별 매출/순이익은 다음과 같다. 단위:원

연도(매출/순이익): 2017년(1917억/97억)-->2018년(1650억/169억)-->2019년(1257억/182억)

2020년 상반기 매출 861억원,순이익 130억원 달성.

 

에프에스티는 비상장회사 이솔의 지분 27.32%를 소유하고 있습니다.

2019년 연결제무제표로 이솔관련 이익은 5.59억원 적자입니다.

2020년6월말 현재 12억원 적자.

 

에프에스티(FST)의 자회사 이솔이 반도체 극자외선(EUV) 노광 공정용 마스크 리뷰 장비를 개발했다.

이 장비 가격이 ASML EUV장비에 비해 가격이 절반이하인 것으로 알려졌다.

 

노광 공정은 빛으로 미세한 회로를 반도체 웨이퍼에 새기는 작업이다. 회로가 그려진 마스크 위에 빛을 쏘고

통과한 빛을 모아 웨이퍼에 패턴을 반복적으로 찍어내는 방식이다. 동일 회로를 빠르게 찍어낼 수 있다.